• nextuppreviousNext:12. ActionneursUp:No TitlePrevious:10. Les effets d'échelle

    • 11. Processus de fabrication

    $\bullet$technologies silicium

    $\bullet$photo-litographie

    $\bullet$LIGA

    $\bullet$électro-érosion: destruction locale par un arc électrique, nécessite des matériaux conducteurs. Cavité de 5 à 300 $\mu$m de diamètre,d'une profondeur de 3 à 5 fois ces valeurs.

    \begin{picture}( 8.5, 9.1)( 0.000, 5.365)\put(0.000000,5.365000){$\bullet$ }\p......aga/merlet/Dessin/Micro/image_turbine.ps'' hscale=100 vscale=100}}\end{picture}

    $\bullet$par irradiation: jet de lumière, d'électrons ou d'ions qui crée une réaction chimique locale ou enlève de la matière par leur force ou leur chaleur

    $\bullet$usinage classique

    11.1 Processus de fabrication: technologie silicium

     


    \begin{picture}( 11.5, 11.7)( 0.000, 2.755)\put(0.000000,2.755000){$\bullet$ }......rlet/Dessin/Micro/fabrication_silicon.ps'' hscale=100 vscale=100}}\end{picture}

    \begin{picture}( 8.9, 6.6)( 0.000, 7.873)\put(0.000000,7.873000){$\bullet$ }\p....../merlet/Dessin/Micro/image_hair_motor.ps'' hscale=100 vscale=100}}\end{picture}

    \begin{picture}( 10.6, 6.6)( 0.000, 7.917)\put(0.000000,7.917000){$\bullet$ }\......ga/merlet/Dessin/Micro/motor_silicon1.ps'' hscale=100 vscale=100}}\end{picture}

    \begin{picture}( 10.0, 7.4)( 0.000, 7.105)\put(0.000000,7.105000){$\bullet$ }\......ga/merlet/Dessin/Micro/motor_silicon2.ps'' hscale=100 vscale=100}}\end{picture}

    moteur en rotation
     
     

    11.2 Processus de fabrication: photo-litographie

    Polymérisation d'une résine par action d'un laser
    $\Downarrow$
    structure 3D par empilage de sections de faible hauteur

    \begin{picture}( 8.4, 9.1)( 0.696, 4.437)\put(0.696000,4.437000){$\bullet$ }\p......phorn/0/saga/merlet/Dessin/Micro/liga.ps'' hscale=100 vscale=100}}\end{picture}
     
     
     
     
     
     
     
     
     
     
     
     

    \begin{picture}( 8.6, 7.1)( 0.000, 7.380)\put(0.000000,7.380000){$\bullet$ }\p......aga/merlet/Dessin/Micro/image_gripper.ps'' hscale=100 vscale=100}}\end{picture}

    11.3 Processus de fabrication: LIGA

    Polymérisation d'une résine par action d'un rayon X (produit par un synchrotron)
    $\Downarrow$
    structure 3D par empilage de sections d'une hauteur moyenne.
    La structure sert à faire un moule

    Exemple: un rasoir pour insecte

    \begin{picture}( 9.5, 10.2)( 0.000, 4.278)\put(0.000000,4.278000){$\bullet$ }\......let/Dessin/Micro/image_ants+engrenage.ps'' hscale=100 vscale=100}}\end{picture}

    11.4 Processus de fabrication: usinage classique

     


    \begin{picture}( 9.8, 7.7)( 0.000, 6.815)\put(0.000000,6.815000){$\bullet$ }\p......ga/merlet/Dessin/Micro/image_grinding.ps'' hscale=100 vscale=100}}\end{picture}

    micro tour

    \begin{picture}( 6.7, 6.9)( 0.000, 7.555)\put(0.000000,7.555000){$\bullet$ }\p....../saga/merlet/Dessin/Micro/image_lathe.ps'' hscale=100 vscale=100}}\end{picture}


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    Jean-Pierre Merlet

    1999-11-16